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轴号 X Y1/Y2 行程 600mm 700mm 安装方式 侧装 水平 负载 7KG 7KG+X轴自重 动子数量 1 1 速度 1100mm/s 1100mm/s 加速度 1G 1G 单轴重现精度 ±2um ±2um 定位精度(补偿后) ±3um ±3um 水平直线度 ±0.01mm ±0.01mm 平面度 ±0.01mm ±0.01mm 产品尺寸图