高纯气体输送设备

超高纯气体输送设备是集成电路、平板显示、发光二极管以及光伏、光纤等泛半导体行业中关键的厂务设备之一。

正帆科技在高纯气体供应系统领域深耕多年，在泛半导体产业的刻蚀、扩散、离子注入、薄膜沉积和黄光工艺等关键制程为客户提供完整的气体供应设备设计与制造的解决方案。正帆科技制造的气体设备均经过SEMI S2认证。

洁净度

通过使用高洁净度的部件，在可控的环境中以超高纯施工工艺加工操作，以确保系统对气体的二次污染被控制在PPB级别

安全性

以必要的安全装备与控制系统来预防及紧急应对气体意外泄漏带来的危险

稳定性

通过优化的系统设计和严格的制造过程控制，确保设备能够持续不间断地以稳定的压力和流量输送气体