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| 符号 | QV-X302P1L-E | QV-X404P1L-E | QV-X606P1L-E |
|---|---|---|---|
測定範囲(XxYxZ)(mm) | 300x200x200 | 400x400x250 | 600x650x250 |
*小表示量(µm) | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
観察装置 | プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系 | プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系 | プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系 |
照明 垂直落射照明 | 白色LED | 白色LED | 白色LED |
照明 透過照明 | 白色LED | 白色LED | 白色LED |
照明 リング照明 | 白色LED | 白色LED | 白色LED |
温度補正機能 | 手動温度補正 | 手動温度補正 | 手動温度補正 |
その他 | 画像測定精度(μm) EUX/EUY,MPE (1.5+3L/1000) EUXY,MPE (2.0+4L/1000) EUZ,MPE (1.5+4L/1000) | 画像測定精度(μm) EUX/EUY,MPE (1.5+3L/1000) EUXY,MPE (2.0+4L/1000) EUZ,MPE (1.5+4L/1000) | 画像測定精度(μm) EUX/EUY,MPE (1.5+3L/1000) EUXY,MPE (2.0+4L/1000) EUZ,MPE (1.5+4L/1000) |
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